Wir entwickeln Mikroskopie-Software zur automatischen und manuellen Messung. Dazu zählen spezielle Mustererkennungsalgorithmen, angepasste Arbeitsabläufe und das automatisierbare Ansteuern der Hardwarekomponenten.

Confovis: Automatisierte Konfokalmikroskopie

Confovis stellt konfokale Messsysteme her. Ein Kunde wollte deren System nur in Kombination mit einer angepassten Messsoftware kaufen, welche spezielle Features für die Halbleiterindustrie bietet. Diese Spezialsoftware gab Confovis daraufhin bei Invigon in Auftrag.

Wir integrierten unter anderem folgende Features, die kein Standard in Mikroskopsoftware sind:

• Automatische 3D-Mustererkennung von Halbleiterstrukturen (so genannte Critical Dimensions von Vias, Langlöchern, Overlay-Strukturen etc.)
• Unterstützung von Wafermaps (in Wafermap-Dateien wird die Anordnung der Chips auf dem Wafer definiert)
• Ansteuerung der Hardware (Mikroskop, Objektivrevolver, X-Y-Z-Tisch)
• Intuitive und schnelle Erstellung von Automatisierungsrezepten ohne Programmierkenntnisse

Die Algorithmen für die automatische Mustererkennung entwickelten wir selbst komplett neu und angepasst an die physikalischen Eigenschaften der Messung. Dadurch sind unsere Werkzeuge wesentlich robuster und präziser als die der Konkurrenz.

Wir machten uns mit den branchenspezifischen Fachkenntnissen und Normen (Wafermaps, Critical Dimensions etc.) vertraut, begleiteten Confovis bei der Angebotserstellung und führten die Fachgespräche direkt mit dem Kunden. Anschließende Schulungen wurden vor Ort beim Kunden durch Invigon durchgeführt.

Das System ist sehr gut beim Kunden angenommen wurden und wurde inzwischen schon mehrere weitere Male bestellt. Die überwältigende Resonanz auf unsere Software veranlasste uns, diese zum Produkt weiterzuentwickeln (www.autoaim.de).

Technologien: C++, Qt, OpenCV

Projektumfang: 4 Mannjahre, verteilt auf 14 Monate

Fraunhofer IZM: Mikroskopie-Software

Das Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration lernte an einem System von Confovis unsere AUTOAIM-Mikroskopie-Software kennen. Unser modernes, intuitives Bedienkonzept und die durchdachten Messwerkzeuge überzeugten so sehr, dass wir gebeten wurden, die Software auch für andere Mikroskoptypen (u.a. Leica) kompatibel zu machen.

Kundenvorteile: Einheitliche Bedienung verschiedener Geräte, moderne Software auch auf älteren Systemen und kompatible Dateiformate auf verschiedenen Systemen.

Technologien: C++, Qt, OpenCV

Projektumfang: 1 Mannjahr, verteilt auf 4 Monate